Шестифтористая сера (элегаз)
Применение
Элегаз применяется в электротехнической промышленности в качестве диэлектрика В микроэлектронике гексафторид серы используется как источник фтора для травления в плазме высокой плотности без образования углеродсодержащих продуктов. SF6 используют для травления силицидов металлов (например, вольфрама), нитридов и оксидов на металлических подложках.
Спецификация
Марка | 3.0 | 5.0 |
---|---|---|
Содержание основного вещества, не менее | 99,9 % | 99,999% |
Примеси: | ||
Кислород, азот, воздух (суммарно) | < 0,05 % | — |
Тетрафторметан | < 0,05 % | — |
Вода, %, не более | < 0,0015 % | — |
Кислотность в пересчете на фтористый водород | < 0,00003 % | — |
Гидролизуемые фториды | < 0,0001 % | — |
O2 + Ar | — | < 2 ppm |
N2 | — | < 3 ppm |
CO | — | < 0,5 ppm |
CO2 | — | < 0,5 ppm |
CF4 | — | < 0,5 ppm |
H2O | — | < 2 ppm |
HF | — | < 0,1 ppm |
Общие углеводороды по метану | — | < 0,1 ppm |
Стандарт / ТУ | ТУ 6-02-1249-83 |
По вопросам приобретения шестифтористая сера (элегаз) и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим вас обратиться к менеджерам:
Пожалуйста, направьте нам запрос на интересующие Вас товары по электронной почте:
dann-25@bk.ru
Контакты Московского офиса:
Тел.: +7 495 149 86 99 (многоканальный):
Отдел продаж: доб. 3547; 9874; 7641; 2224
Офис в Санкт-Петербурге:
+7 812 317 28 28,
+7 812 317 28 88
masla.kondor@yandex.ru — по вопросам приобретения масел, смазок, смазочных материалов и подбора аналогов.
Более подробные данные — в разделе
Контакты
- Каталог CONDOR OIL — аналог: Shell, Mobil, Газпромнефть
- СКАЧАТЬ каталог смазочных материалов CONDOR OIL
- Презентация моторных масел Condor Oil
- Почему стоит выбирать отечественные масла Condor Oil
- Каталог масел
- Каталог смазок
- Каталог жидкостей
- Прайс "Полидиметилсилоксановые жидкости ПМС"