Газовые смеси фосфина с аргоном
Синонимы: Phosphine argon gas mixture
Применение
Газовые смеси фосфина (PH3) с аргоном применяют в производстве полупроводниковых материалов как легирующий агент n-типа.
Спецификация
| Марка | 1 | 2 | 3 | 4 | 5 | 6 | 7 | 8 | 9 | |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| Объемная доля фосфина, %* | 50±5 | 20±2 | 15±1 | 10±1 | 6±1 | 3±0,6 | 1,5±0,5 | 0,1-0,5 | 0,005-0,015 | |
| Примеси | ||||||||||
| Углеводороды в пересчете на метан, не более | 5 ppm | 2 ppm | 1,5 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | |
| Азот, не более | 50 ppm | 50 ppm | 50 ppm | 50 ppm | 50 ppm | 30 ppm | 30 ppm | 30 ppm | 30 ppm | |
| Диоксид углерода, не более | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | 10 ppm | |
| Кислород, не более | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | 2 ppm | |
| Водяные пары, не более | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | 3 ppm | |
| Содержание металлов, менее | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | 1 ppm | |
| Показатели качества компонентов стандартных смесей* | Фосфин | Аргон |
| Основное вещество | 99,9998 % | 99,998% |
| Аргон | < 0,5 ppm | |
| Кислород | < 0,1 ppm | < 2 ppm |
| Азот | < 1 ppm | < 10 ppm |
| Вода | < 1 ppm | < 3 ppm |
| Метан | < 0,1 ppm | < 1 ppm |
| Этан | < 0,1 ppm | |
| Пропан | < 0,1 ppm | |
| Диоксид углерода | < 0,1 ppm | < 0,2 ppm |
| Оксид углерода | < 0,1 ppm | |
| Водород | < 2 ppm | |
| Арсин | < 0,1 ppm | Аргон |
| Металлы | < 0,1 ppb |
* Возможно использование компонентов иной чистоты, других газов разбавителей, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
Продукция соответствует ТУ 2114-006-16424433-05
По вопросам приобретения газовые смеси фосфина с аргоном и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам:
Пожалуйста, направьте нам запрос на интересующие Вас товары по электронной почте:
dann-25@bk.ru
Контакты Московского офиса:
Тел.: +7 495 149 86 99 (многоканальный):
Отдел продаж: доб. 3547; 9874; 7641; 2224
Офис в Санкт-Петербурге:
+7 812 317 28 28,
+7 812 317 28 88
masla.kondor@yandex.ru — по вопросам приобретения масел, смазок, смазочных материалов и подбора аналогов.
Более подробные данные — в разделе
Контакты
- Каталог CONDOR OIL — аналог: Shell, Mobil, Газпромнефть
- СКАЧАТЬ каталог смазочных материалов CONDOR OIL
- Презентация моторных масел Condor Oil
- Почему стоит выбирать отечественные масла Condor Oil
- Каталог масел
- Каталог смазок
- Каталог жидкостей
- Прайс "Полидиметилсилоксановые жидкости ПМС"
