Компания "Кондор"
Комплексные поставки химии для промышленных предприятий
Меню
Каталог:

Фоточувствительный диэлектрик Cyclotene

Защитные фоточувствительные диэлектрики Cyclotene серии 4000, предлагаемые компанией Dow Chemical Company, представляют собой высокочистые полимерные материалы, полученные из мономеров на основе бензоциклобутена (BCB), и предназначены для применения тонкоплёночной технологии. Они идеальны для получения тонких диэлектрических слоёв и там, где необходимы защитные слои для пассивации и устойчивость к химическим воздействиям.

 

Материал Cyclotene может служить как защитный слой для кремниевых, арсенид-галлиевых и керамических устройств, действует как негативный фоторезист, а также применяется в качестве диэлектрика с низкой диэлектрической проницаемостью в коммутационных конструкциях из арсенида галлия. Отличные характеристики по выравниванию материала Cyclotene позволяют выполнять плоские структуры межсоединений без применения химико-механической полировки.

 

Основные особенности:

  • действует как негативный фоторезист;
  • низкое значение диэлектрической постоянной;
  • устойчивость к химическим воздействиям;
  • доступы вязкости от 34 до 1950 сСт.;
  • низкие потери на высоких частотах;
  • низкое влагопоглощение;
  • низкая температура отверждения;
  • высокая степень выравнивания поверхности;
  • низкое содержание ионов;
  • высокая оптическая прозрачность;
  • хорошая термическая стабильность;
  • высокая устойчивость к химическим воздействиям;
  • хорошая совместимость с различными составами металлизации;
  • усадка при отверждении менее 5%.

Основные свойства:

 

Техническая консультация

 

Таблица 1. Вязкости и толщины материалов Cyclotene серии 4000:

 

Тип материала Cyclotene Вязкость (сСт) Толщина после термообработки (мкм)
XUS35078 type 2 96 1,8 – 3,6
4022-25 34 0,1 – 1,8
4022-35 192 2,5 – 5,0
4024-40 350 3,5 – 7,5
4026-46 1100 7,0 – 14,0
XUS35078 type 3 1950 15 — 30

 

Техническая консультация

 

Таблица 2. Электрические и температурные свойства:

 

Величина Значение
Диэлектрическая проницаемость 2,65 (1 кГц-20 ГГц)
Коэффициент затухания 0,0008
Напряжение пробоя 5,3 МВт/см
Ток утечки 4,7Е-10 А/см2 при 1 МВ/см
Объёмное сопротивление 1Е10 Ом·см
Температурная проводимость 0,29 Вт/м·К при 24оС
Температурная устойчивость 1,7% потеря веса за час при 350оС

 

Техническая консультация

 

Таблица 3. Механические свойства: 

 

Величина Значение
Коэффициент теплового расширения 42 ppm/Со при 25оС
Температура стеклования >350oC
Модуль упругости 2,9 ± 0,2 ГПа
Предел прочности 87 ± 9 МПа
Предел прочности при растяжении 8 ± 2,5%
Коэффициент Пуассона 0,34
Напряжение на кремнии при 25оС 28 ± 2 МПа

 

Рекомендации по использованию:

 

  • Тон: негативный.
  • Толщина плёнки: 1,4 – 14 мкм.
  • Усилитель адгезии: AP3000.
  • Экспонирование: 436 нм (g-линия) и 365 нм (i-линия).
  • Проявление: DS3000, DS2100.
  • Удаление: Prime Stripper A.

 

 

Упаковка, хранение и транспортировка:

 

Материал поставляется замороженным в сухом льду. Хранить в упаковке от производителя в плотно закрытом контейнере. Избегать воздействия прямого солнечного света или источников УФ излучения. Избегать температур выше 40оС. Материал может реагировать с самим собой при температурах свыше 100оС. Избегать контакта с сильными окислителями.

 

Техническая консультация

 

Таблица 4. Температуры и сроки хранения:

 

Температура хранения Срок хранения
Ниже -15оС 12 – 18 месяцев с даты производства
4oС 1 – 2 месяца
20оС 5 – 10 дней

 

По вопросам приобретения фоточувствительного диэлектрика Cyclotene и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим вас обратиться к менеджерам:

(495)-790-14-52
8-915-218-57-47
8-926-941-80-03