Газовые смеси фосфина с силаном, гелием
ПРИМЕНЕНИЕ:
Газовые смеси фосфина (PH3) с силаном (SiH4), а также газовые смеси фосфина (PH3) с гелиемприменяют в производстве полупроводниковых материалов
МАРКА | Фосфин с силаном
(ТУ 95120-93) |
Фосфин с гелием (ТУ 6-02-1-412-80) |
|||
2 | 3 | ||||
Объемная доля фосфина, %* | 50±5 | 20±2 | 50±3 | ||
Показатели качествакомпонентов стандартных смесей* | Фосфин | Силан | Гелий | ||
Основное вещество | 99,9998 % | 99,999 % | 99,995% | ||
Аргон | < 0,5 ppm | ||||
Кислород | < 0,1 ppm | Ar+O2 < 0,1 ppm | Ar+O2 < 1 ppm | ||
Азот | < 1 ppm | < 2 ppm | < 5 ppm | ||
Вода | < 1 ppm | < 0,1 ppm | < 5 ppm | ||
Метан | < 0,1 ppm | < 1 ppm | < 1 ppm | ||
Этан | < 0,1 ppm | ||||
Пропан | < 0,1 ppm | ||||
Углеводороды | C2-C4 < 1 ppm | < 1 ppm | |||
Диоксид углерода | < 0,1 ppm | < 0,1 ppm | CO+CO2 < 2 ppm | ||
Оксид углерода | < 0,1 ppm | < 0,1 ppm | |||
Водород | < 10 ppm | < 1 ppm | |||
Хлорсиланы | < 1 ppm | ||||
Арсин | < 0,1 ppm | Аргон | |||
Металлы | < 0,1 ppb | < 1 ppb |
* Возможно использование компонентов иной чистоты, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
Общая характеристика | Газовые смеси фосфина представляют собой бесцветный газ, токсичный, взрыво- и пожароопасный | ||||
фосфин | силан | гелий | |||
Молекулярная масса | 34 г/моль | 32 г/моль | 4 г/моль | № ООН | 1953/2199 |
Температура кипения | — 87,4 °C | — 111,9 °C | — 269 °C | КЭМ | 15 ДЭ |
Температура плавления | — 132,5 °C | — 185 °C | Класс опасности груза (по ГОСТу 19433-88) | 2.4 | |
Критическая температура | 51,3 °C | — 3 °C | -267,95 °C | Знаки опасности | |
Критическое давление | 6,54 МПа | 4,28 МПа | 0,23 МПа |
УПАКОВКА:
Стандартное наполнение – 40-литровый баллон
(2м — смеси с гелием, 2,2 кг – смесь 50% с силаном)
Возможно наполнение баллонов другого объема.
По вопросам приобретения газовые смеси фосфина с силаном, гелием и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам:
Пожалуйста, направьте нам запрос на интересующие Вас товары по электронной почте:
dann-25@bk.ru
Контакты Московского офиса:
Тел.: +7 495 149 86 99 (многоканальный):
Отдел продаж: доб. 3547; 9874; 7641; 2224
Офис в Санкт-Петербурге:
+7 812 317 28 28,
+7 812 317 28 88
masla.kondor@yandex.ru — по вопросам приобретения масел, смазок, смазочных материалов и подбора аналогов.
Более подробные данные — в разделе
Контакты
- Каталог CONDOR OIL — аналог: Shell, Mobil, Газпромнефть
- СКАЧАТЬ каталог смазочных материалов CONDOR OIL
- Презентация моторных масел Condor Oil
- Почему стоит выбирать отечественные масла Condor Oil
- Каталог масел
- Каталог смазок
- Каталог жидкостей
- Прайс "Полидиметилсилоксановые жидкости ПМС"