ООО Компания «Кондор» - комплексные поставки химии для промышленных предприятий Разработка CONDOR OIL - аналог: Shell, Mobil, Газпромнефть
Главная >
Фоточувствительный диэлектрик Cyclotene
Фоточувствительный диэлектрик Cyclotene
Защитные фоточувствительные диэлектрики Cyclotene серии 4000, предлагаемые компанией Dow Chemical Company, представляют собой высокочистые полимерные материалы, полученные из мономеров на основе бензоциклобутена (BCB), и предназначены для применения тонкоплёночной технологии. Они идеальны для получения тонких диэлектрических слоёв и там, где необходимы защитные слои для пассивации и устойчивость к химическим воздействиям.
Материал Cyclotene может служить как защитный слой для кремниевых, арсенид-галлиевых и керамических устройств, действует как негативный фоторезист, а также применяется в качестве диэлектрика с низкой диэлектрической проницаемостью в коммутационных конструкциях из арсенида галлия. Отличные характеристики по выравниванию материала Cyclotene позволяют выполнять плоские структуры межсоединений без применения химико-механической полировки.
Основные особенности:
- действует как негативный фоторезист;
- низкое значение диэлектрической постоянной;
- устойчивость к химическим воздействиям;
- доступы вязкости от 34 до 1950 сСт.;
- низкие потери на высоких частотах;
- низкое влагопоглощение;
- низкая температура отверждения;
- высокая степень выравнивания поверхности;
- низкое содержание ионов;
- высокая оптическая прозрачность;
- хорошая термическая стабильность;
- высокая устойчивость к химическим воздействиям;
- хорошая совместимость с различными составами металлизации;
- усадка при отверждении менее 5%.
Основные свойства:
Техническая консультация
Таблица 1. Вязкости и толщины материалов Cyclotene серии 4000:
| Тип материала Cyclotene |
Вязкость (сСт) |
Толщина после термообработки (мкм) |
| XUS35078 type 2 |
96 |
1,8 – 3,6 |
| 4022-25 |
34 |
0,1 – 1,8 |
| 4022-35 |
192 |
2,5 – 5,0 |
| 4024-40 |
350 |
3,5 – 7,5 |
| 4026-46 |
1100 |
7,0 – 14,0 |
| XUS35078 type 3 |
1950 |
15 — 30 |
Техническая консультация
Таблица 2. Электрические и температурные свойства:
| Величина |
Значение |
| Диэлектрическая проницаемость |
2,65 (1 кГц-20 ГГц) |
| Коэффициент затухания |
0,0008 |
| Напряжение пробоя |
5,3 МВт/см |
| Ток утечки |
4,7Е-10 А/см2 при 1 МВ/см |
| Объёмное сопротивление |
1Е10 Ом·см |
| Температурная проводимость |
0,29 Вт/м·К при 24оС |
| Температурная устойчивость |
1,7% потеря веса за час при 350оС |
Техническая консультация
Таблица 3. Механические свойства:
| Величина |
Значение |
| Коэффициент теплового расширения |
42 ppm/Со при 25оС |
| Температура стеклования |
>350oC |
| Модуль упругости |
2,9 ± 0,2 ГПа |
| Предел прочности |
87 ± 9 МПа |
| Предел прочности при растяжении |
8 ± 2,5% |
| Коэффициент Пуассона |
0,34 |
| Напряжение на кремнии при 25оС |
28 ± 2 МПа |
Рекомендации по использованию:
- Тон: негативный.
- Толщина плёнки: 1,4 – 14 мкм.
- Усилитель адгезии: AP3000.
- Экспонирование: 436 нм (g-линия) и 365 нм (i-линия).
- Проявление: DS3000, DS2100.
- Удаление: Prime Stripper A.
Упаковка, хранение и транспортировка:
Материал поставляется замороженным в сухом льду. Хранить в упаковке от производителя в плотно закрытом контейнере. Избегать воздействия прямого солнечного света или источников УФ излучения. Избегать температур выше 40оС. Материал может реагировать с самим собой при температурах свыше 100оС. Избегать контакта с сильными окислителями.
Техническая консультация
Таблица 4. Температуры и сроки хранения:
| Температура хранения |
Срок хранения |
| Ниже -15оС |
12 – 18 месяцев с даты производства |
| 4oС |
1 – 2 месяца |
| 20оС |
5 – 10 дней |
По вопросам приобретения фоточувствительного диэлектрика Cyclotene и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим вас обратиться к менеджерам:
+7 495 790 14 52
+7 499 558 37 54
dann-25@bk.ru»
По вопросам приобретения масла и смазок masla.kondor@yandex.ru.
