Компания "Кондор"
Комплексные поставки химии для промышленных предприятий
Меню
Каталог:

Резисты серий ma-P 1200/ma-N 400 и 1400/ormo

Резисты компании Кондор широко применяются для создания структур с помощью оптической, УФ и электронной литографии. Кроме того, имеются резисты для наноимпринтной (нанопечатной) литографии и органическо-неорганические гибридные полимеры для создания микро- и нанооптических структур.

 

Фоторезисты серии ma-P 1200:

Позитивные фоторезисты серии ma-P 1200 используются в процессах жидкостного и сухого травления, в качестве маски для ионной имплантации, а также в процессе электроосаждения. Серия включает в себя следующие наименования: ma-P 1205 / 1210 / 1215 / 1225 / 1240 / 1275. Данные материалы отличает высочайшая стабильность рисунка в процессе жидкостного травления и в кислотных и щелочных ваннах при гальваническом осаждении.

 

Отмечается высокая стабильность в процессах сухого травления (CHF3, CF4, SF6). Фоторезисты серии ma-P 1200 могут быть проявлены воднощелочными растворами и относительно легко удалены. Широкий спектр доступных вязкостей позволяет выбрать оптимальный фоторезист для получения желаемой толщины плёнки.

  • Тон: позитивный.
  • Толщина плёнки: 0,5 – 7,5 мкм.
  • Экспонирование: i-линия (365 нм), h-линия (405 нм) и g-линия (436 нм) или интегральное экспонирование (350 – 400 нм).
  • Проявление: воднощелочными растворами.

 

Фоторезисты серии ma-N 400 и ma-N 1400:

Негативные фоторезисты серий ma-N 400 и ma-N 1400 созданы для производства МЭМС и обратной (взрывной) фотолитографии. Эти материалы демонстрируют высокую стабильность в процессах жидкостного и сухого травления, высокую температурную устойчивость (до 110оС для ma-N 400 и до 160оС для ma-N 1400); имеют настраиваемый профиль. Широкий спектр доступных вязкостей позволяет выбрать оптимальный фоторезист для получения желаемой толщины плёнки.

  • Тон: негативный.
  • Толщина плёнки: 4,1 – 7,5 мкм (ma-N 400) и 0,5 – 4 мкм (ma-N 1400).
  • Экспонирование: 300 – 380 нм (ma-N 400) и 300 – 410 нм (ma-N 1400).
  • Проявление: воднощелочными растворами.

 

Электронный / ГУФ резист серии ma-N 2400:

Негативный резист ma-N 2400 широко используется в микро- и наноэлектронике для создания и изменения структур в Si, SiO2, металлах и полупроводниках. Подходит для электронной литографии, фотолитографии в ГУФ, а также используется для создания штампа в технологии наноимпринтной литографии. Кроме того, обладает высокой термической и химической устойчивостью, что позволяет использовать его для процессов травления. Данный резист позволяет получать разрешения до 30 нм.

  • Тон: негативный.
  • Толщина плёнки: 0,1 – 1 мкм.
  • Экспонирование: электронным лучом или ГУФ.
  • Проявление: воднощелочными растворами.

Резисты EpoCore и EpoClad для создания планарных волноводов:

Резисты EpoCore и EpoClad используются для создания оптических планарных волноводов методами литографии. Данные материалы позволяют управлять коэффициентом преломления и имеют высокий коэффициент пропускания на длине волны 850 нм. Устойчивы к высоким температурам и давлениям.

 

Полимеры OrmoStamp для наноимпринтной литографии:

Данные полимеры используются в процессе наноимпринтной литографии. Наносятся на подложку традиционными методами. Доступен вариант резиста для дозирования из шприца. Отверждаются с помощью температуры или воздействия УФ излучения. Устойчивы к воздействию различных травителей. Позволяют создавать наноразмерные структуры.

 

Органическо-неорганические гибридные полимеры Ormocore и Ormoclad:

Полимеры Orcmocore и Ormoclad используются для создания планарных для микро- и нанооптических структур и оптических волокон. Ormocore является оптически прозрачным фоточувствительным материалом, из которого формируется оптоволоко, OrcmoClad-основание для создания оптоволокна.

 

Упаковка, хранение и транспортировка:

Срок годности 6 месяцев. Хранить в упаковке от производителя вдали от солнечных лучей и источников УФ излучения. Упаковку открывать строго в жёлтом свете.

 

По вопросам приобретения резистов серий ma-P 1200/ma-N 400 и 1400/ormo и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим вас обратиться к менеджерам:

(495)-790-14-52
8-915-218-57-47
8-926-941-80-03