ООО Компания «Кондор» - комплексные поставки химии для промышленных предприятий Разработка CONDOR OIL - аналог: Shell, Mobil, Газпромнефть
Главная >
Газовые смеси фосфина с аргоном
Газовые смеси фосфина с аргоном
Синонимы: Phosphine argon gas mixture
Применение
Газовые смеси фосфина (PH3) с аргоном применяют в производстве полупроводниковых материалов как легирующий агент n-типа.
Техническая консультация
Спецификация
| Марка |
1 |
2 |
3 |
4 |
5 |
6 |
7 |
8 |
9 |
| Объемная доля фосфина, %* |
50±5 |
20±2 |
15±1 |
10±1 |
6±1 |
3±0,6 |
1,5±0,5 |
0,1-0,5 |
0,005-0,015 |
| Примеси |
| Углеводороды в пересчете на метан, не более |
5 ppm |
2 ppm |
1,5 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
| Азот, не более |
50 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
50 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
30 ppm |
| Диоксид углерода, не более |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
10 ppm |
| Кислород, не более |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
2 ppm |
| Водяные пары, не более |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
3 ppm |
| Содержание металлов, менее |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
1 ppm |
Техническая консультация
| Показатели качества компонентов стандартных смесей* |
Фосфин |
Аргон |
| Основное вещество |
99,9998 % |
99,998% |
| Аргон |
< 0,5 ppm |
|
| Кислород |
< 0,1 ppm |
< 2 ppm |
| Азот |
< 1 ppm |
< 10 ppm |
| Вода |
< 1 ppm |
< 3 ppm |
| Метан |
< 0,1 ppm |
< 1 ppm |
| Этан |
< 0,1 ppm |
|
| Пропан |
< 0,1 ppm |
|
| Диоксид углерода |
< 0,1 ppm |
< 0,2 ppm |
| Оксид углерода |
< 0,1 ppm |
|
| Водород |
|
< 2 ppm |
| Арсин |
< 0,1 ppm |
Аргон |
| Металлы |
< 0,1 ppb |
|
* Возможно использование компонентов иной чистоты, других газов разбавителей, а также иная объемная доля фосфина по индивидуальному заказу
Продукция соответствует ТУ 2114-006-16424433-05
По вопросам приобретения газовые смеси фосфина с аргоном и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим Вас обратиться к менеджерам:
+74957901452
+74995583754
+78123172828
dann-25@bk.ru
По вопросам приобретения масла и смазок masla.kondor@yandex.ru.
