Компания "Кондор"
Комплексные поставки химии для промышленных предприятий
Меню
Каталог:

Электронный резист XR-1541

Dow Corning XR-1541 – это негативный резист для электронной (e-beam) литографии, позволяющий получать разрешение до 6 нм. Используется для производства фотошаблонов и микросхем нового поколения. Представляет собой материалы высокой чистоты (<10 частиц металлов на миллиард).

 

Резисты поставляются в различной концентрации для получения толщин от 30 до 180 нм в едином цикле. Другие варианты доступны под заказ. Дополнительно поставляются разбавители от Dow Corning для регулирования вязкости.

Отличительные особенности:

  • высокая чистота;
  • устойчивость к травителям;
  • высокое разрешение;
  • проявление в водных растворах.

 

Основные характеристики:

Минимальный размер элемента 6 нм
Коэффициент преломления 1,41
Концентрация примесей металлов < 10 ppb
Толщина нанесения – 2% 30 — 60 нм
Толщина нанесения – 4% 55 — 115 нм
Толщина нанесения – 6% 85 — 180 нм

Технология использования:

Глубина проникновения электронного пучка 35 – 175нм
Энергия электронного пучка 100 – 200 кэВ
Энергия электронного пучка 400 – 700 мкКл/см2
Температурный отжиг (рекомендуется) 350оC в атмосфере N2, для увеличения контраста

 

Упаковка, хранение и транспортировка:

Dow Corning XR-1541 поставляется в бутылках 125 и 250 мл. Хранить при температуре +50С. Срок годности 6 месяцев.

 

По вопросам приобретения электронного резиста XR-1541 и получения подробной консультации по свойствам продукции, условиям поставки и заключению договора просим вас обратиться к менеджерам:

(495)-790-14-52
8-915-218-57-47
8-926-941-80-03